開發(fā)了基于空間光調(diào)制器( SLM) 和數(shù)碼攝像機(jī)( CCD) 的新型衍射光學(xué)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。用 SLM 取代掩 模板， 用 AutoCAD、Matlab 等繪圖軟件， 在 PC 機(jī)屏幕上繪制小孔、狹縫以及復(fù)雜的幾何圖形，再通過接口電 路傳輸?shù)?SLM。用擴(kuò)束準(zhǔn)直后的激光束照射 SLM，通過透鏡在其后方借助 CCD 實(shí)時觀察各圖案的衍射圖 像，可對其菲涅耳與夫瑯和費(fèi)衍射特性進(jìn)行觀察和在線測量分析。該系統(tǒng)能夠完成典型幾何圖案、小孔狹 縫、多種形狀隨機(jī)分布孔等三類對象的衍射實(shí)驗(yàn)。系統(tǒng)實(shí)時性好，衍射圖像可存儲和處理，靈活方便。