元對象機制（MOF，Meta-Object Facility）起源于統一建模語言（UML）,OMG需要一種元模型結構來定義UML。MOF被設計為4層次的結構。位于頂部的是元元模型層，即M3層。M3模型是MOF建立元模型（被稱為M2模型）的語言。M2模型最明顯的例子是UML元模型，該模型描述UML。M2模型描述M1層以及M1層的要素，例如，UML模型。最后一層是M0層或數據層。它描述真實世界的物體。