MEMS 是英文 Micro Electro Mechanical Systems 的縮寫，即微電子機械系統(tǒng)，是利用微米/納米技術(shù)基礎(chǔ)，對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的 21 世紀(jì)前沿技術(shù)。它將機械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元，不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息采取行動。


與傳統(tǒng)機械系統(tǒng)相比，MEMS 系統(tǒng)具備以下優(yōu)勢：
①微型化和集成化：幾何尺寸小，易于集成。采用微加工技術(shù)可制造出微米尺的傳感和敏感元件，并形成二維或三維的傳感器陣列，再加上一體化集成的大規(guī)模集成電路，最終器件尺寸一般為毫米級。
②低能耗和低成本：采用一體化技術(shù)，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技術(shù)和半導(dǎo)體集成電路工藝，易于實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)，成本低。
③高精度和長壽命：由于采用集成化形式，傳感器性能均勻，各元件間配置協(xié)調(diào)，匹配良好，不需校正調(diào)整，提高了可靠性。
④動態(tài)性好：微型化、質(zhì)量小、響應(yīng)速度快、固有頻率高，具有優(yōu)異動態(tài)特性。