SiGe HBT 高頻特性研究進展，劉 靜，武瑜，從器件結(jié)構(gòu)、工藝條件等方面對影響SiGe HBT高頻特性的因素進行對比分析，并在此基礎(chǔ)上對提高SiGe HBT頻率特性的方法進行了總結(jié)歸納。??