化學氣相沉積 物理氣相沉積濺射鍍膜蒸發鍍膜2、擴散摻雜與離子注入摻雜所形成的雜質濃度分布各自的特點是什么？與擴散摻雜相比離子注入摻雜的優勢與缺點各是什么? 3、簡述離子注入工藝中退火的主要作用。