設(shè)備自動(dòng)化協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)文檔，半導(dǎo)體制造行業(yè)自動(dòng)運(yùn)輸系統(tǒng)需要遵守的通訊標(biāo)準(zhǔn)。自99年在E23的基礎(chǔ)上制定了E84后，E84逐漸成為主流，開發(fā)必備。