反應濺射氮化鐵納米晶薄膜的霍耳效應，米文博，封秀平，采用反應濺射法制備氮化鐵納米晶薄膜。隨著氮氣流量的增加，薄膜中的主要相從α-Fe(N)轉變為ξ-Fe2N，導電機制也從金屬性向半導體特性