ITRI CIM Emulator能夠讀取SML檔案，主要功能是用來測試半導體設備的通訊功能，它支持SECS-I/SECS-II/HSMS-SS通訊協議，支持SML格式，具有強大易用的自動化測試功能，免安裝即拷即用。 使用前需要先將RS232連接線接好運行軟件，選擇檢視。在設定SECS-I對話窗口中輸入相關的通訊參數。