由于國內半導體設備自動化(EAP)發展較晚，和設備通信的SECS協議文檔很難找全，很少有詳細介紹每個SxFx的功能定義，資源相對缺乏，特貢獻半導體詳細文檔給大家參考。后續會上傳一些SECS協議代碼及模擬器給大家。如有需要會上傳一些協議的講解供大家學習。