As-grown defects in highly phosphorus-doped Czochralski silicon

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發(fā)布日期: 2021-04-10
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重摻磷直拉硅單晶中的原生缺陷，曾俞衡，馬向陽，本文研究了重摻磷直拉硅單晶中的原生缺陷.結(jié)果表明,重摻磷直拉硅單晶相對于輕摻磷直拉硅單晶有更高的原生缺陷,這些原生缺陷主要容

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