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大小: 1.59MB文件類型: .pdf金幣: 1下載: 0 次發(fā)布日期: 2021-04-11
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資源簡介
由于其獨特的特性,例如高硬度,透光率,導(dǎo)熱性,化學(xué)穩(wěn)定性和耐腐蝕性,在過去的二十年中,鉆石引起了極大的關(guān)注。 這些特殊的性能使金剛石膜成為用于切削工具,微波窗,電子設(shè)備散熱器和金剛石電極的有前途的材料。 然而,由于難以通過機械和化學(xué)方法拋光,因此具有微米級晶粒尺寸的金剛石膜通常表現(xiàn)出高的表面粗糙度并且阻礙了其在微機電系統(tǒng)(MEMS)和生物領(lǐng)域中的應(yīng)用。 隨著化學(xué)氣相沉積的發(fā)展,納米晶金剛石(NCD)膜已經(jīng)被制造出來并找到了新的應(yīng)用。 NCD膜的晶粒尺寸在10至100nm的范圍內(nèi),其繼承了金剛石的特性并且具有納米級材料的獨特特性,并且NCD膜的形態(tài)為顆粒狀或針狀結(jié)構(gòu)。 微波等離子體化學(xué)氣相沉積(
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