磁控濺射摻鋁氧化鋅薄膜的Ar氣工藝條件研究，宋瑞良，劉瑋，磁控濺射摻鋁氧化鋅（AZO）透明導電膜是大面積太陽能薄膜電池工業化生產的重要工藝手段。實驗發現，在不同的Ar氣進氣方式的濺射過?