這項研究集中在以地震質量結束的多孔硅雙層懸臂上硅的機械響應。 多孔硅旨在為降低低頻MEMS應用的懸臂剛度提供替代方案。 懸臂的第一本征頻率是使用在經典Euler-Bernoulli假設和瑞利方法下獲得的靜態撓度獲得的。 為了估計由于小應變近似和Euler-Bernoulli理論引起的誤差，通過針對不同懸臂幾何形狀和孔隙率的3D有限元模擬對分析結果進行了驗證。 都制造了塊狀硅和多孔硅雙層懸臂梁，并以地震質量結束，我們使用激光多普勒振動計測量了第一本征頻率（f0）和品質因數（Q）。 與理論預測相符，我們發現，與塊狀硅懸臂梁相比，在94％塊狀硅上包含6％多孔硅（孔隙度為50％）的雙層懸臂梁的第一本征