mems 陀螺儀 即硅微機(jī)電陀螺儀，絕大多數(shù)的 MEMS 陀螺儀依賴于相互正交的振 動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)引起的交變科里奧利力。 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集 機(jī)械元素、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一 體的完整微型機(jī)電系統(tǒng)