資源簡介
針對通常微機電系統(MEMS)器件或儀表中微小位移/角度等電容式微弱信號檢測的需要,提出了一種基于單載波激勵和環形二極管解調的方案,主要包含C/V轉換、帶通濾波,環形二極管解調,差動放大等環節。基于PSpice的仿真與測試實驗表明,該電路檢測靈敏度可達3.12V/pF,可滿足通常MEMS器件的納米級微位移測量,且具有體積小、功耗低、易集成等特點,對于微加速度計、陀螺儀、壓力傳感器等具有良好的實用價值。
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