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    發布日期: 2024-02-26
  • 語言: 其他
  • 標簽: 首發論文??

資源簡介

Si/(Ni-Cr合金)/Cu擴散偶950℃時的界面反應,王煒,李長榮,在半導體硅片(Si)-擴散阻擋層(Ni-Cr合金)-金屬互連材料(Cu)構成的體系中,Si和Ni-Cr合金之間以及Ni-Cr合金和Cu之間各構成一對擴散偶。本?

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