采用金屬有機化學氣相沉積技術（MOCVD），使用制備的乙酸鋅二水合物（Zn（CH3COO）2?2H2O）的混合物將氧化鋅（ZnO）和鋁摻雜的ZnO（AZO）薄膜沉積在鈉鈣玻璃上。 ZAD）和乙酰丙酮鋁（Al（C5H702）3; AAA）的前體，溫度為420°C。 系統研究了AAA前體添加劑的不同摩爾百分比濃度對ZnO中Al摻雜劑濃度的影響。 這些觀察是通過對沉積薄膜的形態，光學，電學和組成特性進行研究而得出的。 發現薄膜形態在很大程度上取決于前體混合物中AAA濃度的變化。 除了5摩爾％的Al之外，薄膜在uv-可見區域中的平均光學透射率超過85％。 雖然發現能帶隙在3.27-3.36 eV的范圍