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光柵式傳感器(optical graTIng transducer)指采用光柵疊柵條紋原理測(cè)量位移的傳感器。光柵是在一塊長(zhǎng)條形的光學(xué)玻璃上密集等間距平行的刻線,刻線密度為 10~100線/毫米。由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng),因而能提高測(cè)量精度。光柵傳感器通常作為測(cè)量元件應(yīng)用于程控、機(jī)床定位、長(zhǎng)度和角度的計(jì)量?jī)x器中,在機(jī)械振動(dòng)測(cè)量、變形測(cè)量等領(lǐng)域也有應(yīng)用。

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